目前这些发光效率超越传统荧光灯、白热灯泡的LED已经陆续商品化,同时还持续拓展市场规模与应用领域。接着本文要深进探讨广泛应用在各种领域的4元系AlGaInP红光,高辉度技术与制作方法。
芯片特征
LED芯片属于具备发光功能的二极管,它的外形尺寸大约只有0.2~1mm呈长方形。如图1(b)所示商品化LED是将LED芯片固定在封装与导线架上,展设金线后再以透明树脂密封包覆。LED依照用途封装成炮弹型、正面、侧面出光表面型,以及考虑散热性的大电力用灯泡型等各种外形。
LED芯片本身也有很多种类,依照封装组立方式的不同,LED芯片的结构也截然不同。此外LED芯片的尺寸必须根据使用电力选择。图1(a)是铜凸块(Bump)方式,使用覆晶(Flip Chip Type)LED的断面结构图。LED的特性取决于LED芯片的发光性能、封装后的取光效率、集光技术,因此芯片的高辉度化、封装的高性能化、芯片与封装的组合排名推广设计都非常重要。
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图3是从结晶基板一直到LED芯片的制作流程,如图所示GaP多结晶使高纯度镓(Ga)与磷(P)原料,在高温、高压环境下反应形成GaP多结晶,接着将此高纯度多结晶的原料,在高温、高压环境下溶解,与种晶接触的同时一边旋转固化形成圆筒状GaP单结晶锭(Ingot),最后经过裁切、定厚加工、研磨加工,制成单结晶镜面晶圆,一般LED用基板也是使用GaAs单结晶基板。
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高辉度AlGaInP芯片的制作,分别使用GaAs长晶基板与GaP与黏贴用透明基板,由于这些基板的载子浓度、转位密度、表面粗糙度,都会影响LED芯片的特性,因此必须作精密控制。接着在单结晶基板表面制作具备发光特性的单结晶多层膜,此制程又称作「磊晶(Epitaxial)」的单结晶长晶制程,会决定LED芯片的发光效率、发光波长、电气特性,因此必须透过已经长晶的化合物半导体层结构、结晶组成、载子浓度、膜厚的多层膜结构控制,形成具备发光功能的磊晶晶圆。磊晶的制作方法分成:厚膜法、适合量产的液相法、AlGaInP常用的薄膜法、适合制作多层膜的金属有机物化学气相沉积法(Metal Organic Chemical-Vapor Deposition; )等等。
组件化(芯片化)制程主要是在磊晶晶圆上,制作n型与p型奥姆电极,最后再将已经制作奥姆电极的晶圆,裁切成0.3×0.3mm一定大小,制成晶粒状LED芯片,此时为进步LED的辉度,组件化制程会采用各种独自开发的技术制作。
内部量子效率 进步内部量子效率,磊晶制程制成的发光层结构与结晶质量的控制非常重要。高辉度LED芯片的发光层结构, 大多利用相异半导体材料构成的异质(Hetero)接合,宁波赶集网http://info.c3618.cn亦即利用半导体材料的能隙(Bandgap)差异进步发光效率。一般认定发光层薄膜、多层化的量子井结构, 与多重量子井结构(MQW: Multi Quantem Wl)的发光效率最高。
为进步发光效率,要求可以精密控制经过排名推广设计的复杂多膜层长晶技术,固然进步发光层的结晶质量,涉及量子井效率提升,不过基本上可以降低发光层不纯物与结晶缺陷技术,以及异质接合界面等高度磊晶制作技术,一直是研究的焦点。
电流扩散 所谓电流扩散是指透过发光层结构与电极结构的设计,使电流扩散到芯片整体,藉此提供给发光层进步发光效率的技术。特别是AlGaInP LED芯片的磊晶层厚度很薄,从电极一直到发光层的厚度方向间隔低于10μm,芯片的一边却是200μm以上电流不易扩散的外形,因此设计上必须考虑电极的布局、磊晶层的电气特性,才能促进电流扩散。
发光层的温升 LED芯片使用的半导体材料,假如温度上升发光效率会下降。图4是一般发光二极管的施加电流与辉度的关系,由图可知实际LED芯片若与理想特性比较,高电流领域的辉度明显降低,主要原因施加电力会造成发光层的温度上升,内部量子效率则明显降低。
降低发热量的最有效方法就是抑制施加电力,亦即减少LED芯片的顺向电压VF。如图1(a)所示覆晶结构是进步散热性,是抑制发光层的温度上升方法之一,基本上它是使发光层产生的高热从封装基板侧散热,由于LED芯片内部的发热,几乎都是发光层产生,因此散热特性取决于发光层到机械设备http://www.jxsb365.com/封装基板的热传导率。AlGaInP覆晶芯片则是将芯片翻转使用,它可以使发光层到封装基板的间隔缩短至10μm以下,而且还能够以高热传导率金属连接于大面积封装基板,形成高散热性LED结构。
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AlGaInP LED芯片的高取光效率技术
最近几年AlGaInP LED芯片的内部量子效率,随着设计、加工技术的改良,已经达到实用化水平,特别是将光线从LED片内部取至外部的取光技术,更是突飞猛进。由于LED的取光技术涉及芯片本身的光吸收与内部反射特性,因此接着要依序先容:(a)光吸收;(b)内部反射等影响AlGaInP LED芯片的取光效率的技术动向。
光吸收 图5是AlGaInP LED芯片的断面结构。AlGaInP是在格子整合的GaAs单结晶基板表面,利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术制作磊晶。由于GaAs基板对可视光呈不透明状,因此一般泛用AlGaInP LED芯片的断面结构,如图5(a)所示,朝发光层下方的光线会被GaAs基板吸收。
图5(b)是利用黏贴GaP等透明基板,往除GaAs不透明基板,制作高辉度LED芯片的模型图,由于这种结构使用透明基板,因此芯片内部的光吸收大幅降低,可以从芯片上方、侧面有效取出光线。图5(c)是在基板与发光层之间设置高反射率反射镜(Mirror),这种结构几乎所有发光都从芯片上方取出,非常适合轴上辉度,亦即芯片上方光量的高辉度化要求。
利用以上技术降低光吸收的高辉度LED芯片,相较于传统泛用LED芯片,它可以实现3倍以上的高辉度化。
内部反射 芯片内部的光线反射特性,根据光学领域有名的“Snell法则”可知,假如满足折射率相异界面发生的全反射条件时,光线会在芯片内部反射无法取至外部。
AlGaInP LED系化合物半导体的折射率为3.5,密封LED芯片的环氧树脂与硅树脂的折射率为1.4~1.5,换句话说树脂与芯片界面,大约有2倍左右的折射率差,因此在界面会发生内部反射。将光线从芯片取至外部时,光线的进射角几乎与界面呈垂直状,为防止内部反射,光学设计必须作界面四周的光线的进射角控制。具体方法例如将芯片外形加工成具备多面体外形,或是将芯片表面制成凹凸状,等防止内部反射的改善技术。然而这些改善技术对外形尺寸低于1mm的LED芯片,加工上技术困难度却非常高。
AlGaInP LED芯片的高辉度化技术重点共有3项,分别如下:进步发光层的内部量子效率、进步从从芯片内部取至外部的效率、高效率提供发光层电流的技术。
图6是AlGaInP红光LED的高辉度化技术动向,如图所示从传统光线吸收基板进化到透明基板,加上业者已经针对LED基板,进行上述三大技术改善,其结果使得LED的辉度3年大约进步2倍,08年全球最高发光效率80lm/W的AlGaInP LED也因而正式商品化。上述高辉度AlGaInP LED的辉度是传统使用吸收基板AlGaInP系LED的10倍,今后可看在液晶背光照明模块车灯、照明、信号灯、植物培育等领域拓展市场规模。
结语
以上先容4元系AlGaInP红光LED芯片高辉度技术与制作方法。发光二极管具备低消费电力与长寿命特征,长久以来它的发展动向一直备受全球高度期待,一般以为未来发光二极管可看成为次世代省能源照明光源。96年日亚化学的中村教授开发蓝光LED芯片,白光要求的R、G、B三种光源总算全步到齐,从此揭开白光半导体发光组件新纪元。
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